儀器儀表
無錫華潤(rùn)華晶微電子從上海江文信息技術(shù)有限公司采購了德國(guó)LEICA DM4000M顯微鏡,該顯微鏡安裝了徠卡專利的高精度膜厚測(cè)量系統(tǒng),使測(cè)量準(zhǔn)確度大大提高.
傳統(tǒng)的半導(dǎo)體膜厚測(cè)量一般用橢偏儀來進(jìn)行,操作復(fù)雜.常規(guī)的光譜測(cè)量?jī)x光斑在幾十個(gè)微米,無法滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)的微區(qū)測(cè)量要求,準(zhǔn)確性不足.LEICA的膜厚測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量速度快,且測(cè)量光斑可以達(dá)到亞微米,使測(cè)量準(zhǔn)確性大大提高.
DM4000M顯微鏡是繼INM100后LEICA推出的新一代的產(chǎn)品,而同代的全自動(dòng)型號(hào)DM6000M更是繼INM200以后的LEICA最高端顯微鏡,DM6000M和DM4000M為集成電路,微電子,微加工MEMS等行業(yè)的研究,生產(chǎn)檢驗(yàn)提供了前所未有的高分辨率,高清晰度,高精度的檢測(cè)手段.
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（子妍）
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