河南尚宇新能源股份有限該公司自主研發的三氯氫硅—廢硅粉回收利用技術日前獲得國家發明專利授權。該技術首次利用高效多級旋風分離技術回收未反應完全的廢硅粉,并將其重新加入反應系統。應用該技術,硅粉單耗由原來的0.26~0.28噸降低到0.24噸,每年可節約費用400余萬元。
在三氯氫硅生產過程中產生廢硅粉的問題困擾企業已久,目前國內多數企業都未配套安裝廢硅粉回收裝置,一般將其直接排往淋洗塔。少數廠家將廢硅粉排入大容積存灰罐,再由人工定期排出。這些傳統工藝既浪費又污染環境。