writer：滕艷華，薛長(zhǎng)國(guó)
keywords：微懸臂梁傳感器， 工作原理， 環(huán)境檢測(cè)
source：期刊
specific source：傳感器與微系統(tǒng)，2011，30（4）
Issue time：2011年
微懸臂梁傳感器以其實(shí)時(shí)、高靈敏度、非標(biāo)記等優(yōu)點(diǎn)，成為一種新型環(huán)境檢測(cè)手段。介紹了微懸臂梁傳感器的工作原理，包括其工作模式、讀出技術(shù)，總結(jié)了其在環(huán)境檢測(cè)等方面的研究動(dòng)態(tài)，并對(duì)其在環(huán)境檢測(cè)領(lǐng)域的發(fā)展進(jìn)行了展望。