作者：薛長國，張廣平，張青川，伍小平
關鍵字：微機械系統,微懸臂梁陣列,生化傳感器,設計與實現
論文來源：期刊
具體來源：實驗力學，2011，26
發表時間：2011年
微懸臂梁傳感技術是微納傳感技術研究的熱點,儀器裝置的研究也從單懸臂梁向微梁陣列的方向發展。本文針對間距為250微米的商品化微梁陣列，提出了一種實現對其彎曲變形的讀出系統光路。利用高精度位移平臺調節激光器空間位置，使光束實現微距離上平行，并分別照射在陣列梁的相鄰微梁上,用位置敏感探測器對兩個微懸臂梁尖端反射的激光信號進行檢測，實現系統傳感功能功能。實驗驗證該光路設計簡單易行，針對這一方案實現了兩個微梁的信號分離。在微梁上修飾對應的抗體，系統就可以對其抗原行檢測。該方案對微梁多陣列傳感器研制開發提出了一個新的思路