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穆海亮 博士研究生
來(lái)源:羅鯤教授,博士生導(dǎo)師個(gè)人網(wǎng)站 發(fā)布日期:2019-06-12

一、 教育背景

1、2010/07—2012/12,南京理工大學(xué)(專接本),機(jī)電一體化工程,學(xué)士;

2、2017/09—至今,常州大學(xué),機(jī)械電子工程,碩士;

3、英語(yǔ)水平:大學(xué)英語(yǔ)六級(jí)。

二、科研經(jīng)歷

2017/09—2019/06 主要工作內(nèi)容:

1、通過Stober法合成球形與非球形相混合的介孔二氧化硅磨粒,在此基礎(chǔ)之上考察與其他類型磨料拋光效果的區(qū)別;

2、通過調(diào)整工藝參數(shù),考察各個(gè)不同參數(shù)對(duì)新型復(fù)合磨料拋光性能的影響,并綜合考慮化學(xué)機(jī)械拋光時(shí)各種主要因素,從而達(dá)到對(duì)CMP過程變量的合理優(yōu)化,最終得到更好的拋光效果。

三、發(fā)表文章

1. Ailian Chen, Hailiang Mu, Changzhi Zuo, Yang Chen *, Fabrication, characterization,

and CMP performance of dendritic mesoporous-silica composite particles with tunable pore sizes, Journal of Alloys and Compounds. 770 (2019),335-344.




 

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