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為了快速制備平整高透過率SiO₂ 氣凝膠薄膜，以正硅酸乙酯 (TEOS) 為硅源，乙二醇甲醚 (EGME)為溶劑，氟化銨為催化劑，甲酰胺(FORM)等為干燥控制化學添加劑 (DCCA), 通過浸漬提拉法制備SiO₂ 氣凝膠薄膜。采用傅里葉變換紅外分析儀(FT-IR)、X 射 線 衍 射 儀 (XRD)、場 發 射 掃 描 電 子顯微鏡(FESEM)、原子力顯微鏡(AFM)、表面孔徑吸附儀對材料的結構和性能進行表征，紫外-可見分光光度計(UV-Vis)考察了材料的減反性能。結 果 表 明，所 制SiO₂氣凝膠薄膜的比表面積為890.9m²/g，孔徑集中分布在22.6nm 處，孔容集中分布在0.69cm³/g，400~800nm范圍平均透過率可達95.71％。這種均勻、平整、致密的膜層,是理想的光學減反膜。