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組分非梯度KTN 熱釋電薄膜的制備及其性能研究

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組分非梯度 KTN 熱釋電薄膜制備性能

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所屬學科：

性能表征

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簡介：

為使KTN熱釋電薄膜能夠在較寬的溫度范圍內有較高的熱釋電系數，本文在Pt/Ti/SiO2/Si基片上采用Sol-Gel法制備了兩種多組分成分非梯度分布的KTN熱釋電薄膜。用XRD分析了薄膜的晶相結構，并研究了其鐵電、介電和熱釋電性能。結果表明，兩種薄膜均具有鈣鈦礦型結構，且均可觀察到典型的電滯回線。在100kHz頻率下，I型薄膜在16~43℃，εr=332，tgδ=0.21，14~46℃平均熱釋電系數為3.24610-4C/(cm2K)，計算所得FV=3.5810-7Ccm/J,Fd=1.4210-5Ccm/J。II型薄膜在17~46℃，εr=987，tgδ=0.18，14~44℃平均熱釋電系數為2.79710-4C/(cm2K)，電壓響應優值為1.0410-7Ccm/J,探測度優值為7.6910-6Ccm/J。

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2007-07-12 16:37:59

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