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非制冷紅外探測(cè)器用BST薄膜的制備與性能研究

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關(guān)鍵詞：

BST薄膜射頻濺射低溫沉積紅外探測(cè)器

資料大?。?/td>

280K

所屬學(xué)科：

性能表征

來(lái)源：

來(lái)源網(wǎng)絡(luò)

簡(jiǎn)介：

利用傳統(tǒng)陶瓷工藝制備出BST（65/35）倒筒靶，采用射頻濺射法沉積薄膜。開(kāi)展了對(duì)Pt/Ti/SiO2/Si基底熱處理工藝與BST同質(zhì)緩沖層研究，總結(jié)出了可以確?；捉缑嫘阅芰己谩ST薄膜結(jié)構(gòu)致密的工藝方法。介電性能測(cè)試表明：BST薄膜的介電常數(shù)約為60~70，介電損耗為1.5%~2.5%，居里溫度為284K，介電溫度系數(shù)（TCD）為0.5%。漏電流測(cè)試表明：在1MV/cm電場(chǎng)下，漏電流密度為1.910-6A/cm2。

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2007-07-12 17:35:25

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更多評(píng)論

xybz2008 2008-10-31 18:30:19

ok 下來(lái)研究研究

xlyang0211 2008-10-31 15:37:55

很不錯(cuò)啦，謝謝啦。

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