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非傳統微納制備技術在駐極體研究中的應用

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非傳統微納制備技術主要是指軟刻蝕及其衍生的技術，與目前在微制造領域廣泛使用的光刻蝕技術相比,軟刻蝕的優勢主要集中在過程簡單，成本低，可以有效提高微制作的效率，并且能夠實現平面和曲面上的微/納米圖案(1,2,3維)的微圖形轉移和微制造等方面。

作者：

曹廷炳*，薛面起，趙丹，馬欣蕾

上傳時間：

2011-01-18 14:07:14

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