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基于聚對羥基苯乙烯的單組份深紫外光致抗蝕劑研究

資料類型：

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關(guān)鍵詞：

單組分抗蝕劑聚對羥基苯乙烯硫鎓鹽叔丁氧羰基

資料大小：

174K

所屬學(xué)科：

分子表征

來源：

2011年全國高分子學(xué)術(shù)論文報告會（2011.9.24~28，大連）

簡介：

傳統(tǒng)的化學(xué)增幅型光致抗蝕劑需加入小分子產(chǎn)酸劑，從而影響了其與成膜樹脂的兼容性，在后烘過程中易出現(xiàn)相分離、酸分布不一致等問題，影響分辨率和線邊緣粗糙度。若將產(chǎn)酸劑、阻溶促溶劑和成膜樹脂合成在一個聚合物分子上，組成單組分抗蝕劑，即可極大的改善上述問題。

作者：

劉娟，王力元

上傳時間：

2012-02-27 13:57:38

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