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乙醇對金剛石膜生長特性的影響 |
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| 資料類型： |
PDF文件
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| 關鍵詞： |
乙醇 金剛石膜 生長速率 刻蝕 |
| 資料大小： |
118K |
| 所屬學科： |
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| 來源： |
來源網絡 |
| 簡介： |
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采用EA-CVD(ElectronAssistedChemicalVaporDeposition)方法制備金剛石厚膜，在反應氣體（CH4+H2）中添加乙醇，在保持其它條件不變的情況下研究了不同乙醇流量對金剛石膜生長的影響。利用拉曼光譜和SEM等測試方法對金剛石膜進行了表征，證實乙醇電離時產生的氫氧鍵對金剛石有很強的刻蝕作用。在沉積過程中向系統(tǒng)中加入乙醇對金剛石膜表面形貌有顯著的影響，適量的乙醇有利于提高膜品質和生長速率，但過量的乙醇會導致對金剛石表面的刻蝕加劇，使金剛石膜的生長受到抑制。 |
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| 上傳人： |
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| 上傳時間： |
2007-07-11 14:08:13 |
| 下載次數： |
7018 |
| 消耗積分： |
2
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