|
|
| 資料類型： |
PDF文件
|
| 關鍵詞： |
ZrO2薄膜 磁控濺射 濺射氣壓 相結構 O /Zr |
| 資料大小： |
136K |
| 所屬學科： |
|
| 來源： |
來源網絡 |
| 簡介： |
|
利用射頻反應磁控濺射在顯微玻璃、單晶硅片、NaCl和石英上沉積ZrO2薄膜。膜厚60～80nm。研究發現，濺射氣壓升高，薄膜結晶程度降低，同時存在單斜相和四方相；晶粒尺寸增大；折射率上升；透射率在700~1000nm波段上升。這些結果表明濺射氣壓影響ZrO2薄膜生長機制、微觀結構和成份，進而影響其光學性能。 |
|
| 上傳人： |
|
| 上傳時間： |
2007-07-17 16:31:22 |
| 下載次數： |
6984 |
| 消耗積分： |
2
|
| 立即下載： |
|
|
| 友情提示：下載后對該資源進行評論，即可獎勵2分。 |
|
| 報告錯誤： |
1.下載無效
2. 資料明顯無價值
3. 資料重復存在 |
