中科院長春應化所發表嵌段共聚物引導組裝研究綜述
2016-06-28 來源:中科院生態環境高分子材料重點實驗室
近日,中國科學院長春應用化學研究所生態環境高分子材料重點實驗室季生象課題組應邀撰寫的題為Directed self-assembly of block copolymers on chemical patterns: A platform for nanofabrication 的綜述在Progress in Polymer Science上發表(Prog. Polym. Sci. 2016, 54–55, 76–127)。
該綜述對嵌段共聚物在化學圖案上引導組裝的原理、流程和技術手段,及其在半導體行業的應用進行了全面的總結和評述,并對嵌段共聚物引導組裝的未來發展前景進行了展望,便于讀者快速全面地了解該研究領域的發展狀況。
使用化學圖案(chemical pattern)引導組裝(directed self-assembly,DSA)嵌段共聚物薄膜微相分離,可以獲得長程有序排列的納米結構。相對于光刻法得到的納米結構,引導組裝制備的納米結構具有相疇定位高度精準、線邊粗糙度小等優點,并可以通過自我修復修正光刻法產生的缺陷以及密度倍增法解決光刻法極限分辨率的難題,是制造下一代芯片和存儲媒體的理想候選技術之一。
該課題組自2011年組建以來一直在開展嵌段共聚物引導組裝方面的研究工作,通過分子設計合成新型嵌段共聚物,并研究其在化學圖案上的引導組裝行為,主要包括:1)高χ值嵌段共聚物的合成及其引導組裝;2)三嵌段共聚物的引導組裝;3)新型聚合物分子刷的合成。
該課題組還應邀在Chinese Journal of Polymer Science上發表了題為From self-assembled monolayers to chemically patterned brushes: Controlling the orientation of block copolymer domains in films by substrate modification的聚合物分子刷方面的綜述( 2016, 34, 659-678) 。
課題組的相關工作獲得了中科院百人計劃、國家自然科學基金委和吉林省科技廳等項目的大力支持。
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該綜述對嵌段共聚物在化學圖案上引導組裝的原理、流程和技術手段,及其在半導體行業的應用進行了全面的總結和評述,并對嵌段共聚物引導組裝的未來發展前景進行了展望,便于讀者快速全面地了解該研究領域的發展狀況。
使用化學圖案(chemical pattern)引導組裝(directed self-assembly,DSA)嵌段共聚物薄膜微相分離,可以獲得長程有序排列的納米結構。相對于光刻法得到的納米結構,引導組裝制備的納米結構具有相疇定位高度精準、線邊粗糙度小等優點,并可以通過自我修復修正光刻法產生的缺陷以及密度倍增法解決光刻法極限分辨率的難題,是制造下一代芯片和存儲媒體的理想候選技術之一。
該課題組自2011年組建以來一直在開展嵌段共聚物引導組裝方面的研究工作,通過分子設計合成新型嵌段共聚物,并研究其在化學圖案上的引導組裝行為,主要包括:1)高χ值嵌段共聚物的合成及其引導組裝;2)三嵌段共聚物的引導組裝;3)新型聚合物分子刷的合成。
該課題組還應邀在Chinese Journal of Polymer Science上發表了題為From self-assembled monolayers to chemically patterned brushes: Controlling the orientation of block copolymer domains in films by substrate modification的聚合物分子刷方面的綜述( 2016, 34, 659-678) 。
課題組的相關工作獲得了中科院百人計劃、國家自然科學基金委和吉林省科技廳等項目的大力支持。
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嵌段共聚物在化學圖案上的引導組裝流程
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(責任編輯:xu)
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