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澳門大學(xué)周冰樸助理教授課題組:基于雙層導(dǎo)電和多孔微穹頂陣列協(xié)同作用的柔性壓力傳感器靈敏度和線性范圍同步優(yōu)化
2020-06-30  來源:高分子科技

  近年來,隨著對人體健康檢測的需求越來越高,柔性可穿戴電子皮膚已逐漸引起人們的關(guān)注。通過物理接觸輸出電信號以識別觸感信息的壓力傳感器,已在如脈搏、呼吸、聲音、肢體動作等的生理信號的實(shí)時監(jiān)測方面展示出了極大潛力。壓阻式壓力傳感器因具有結(jié)構(gòu)簡單、信號采集簡易、動態(tài)響應(yīng)迅速等優(yōu)勢而廣受青睞。壓力傳感器的核心傳感性能是其靈敏度和線性度:高靈敏度可使傳感器件具有高信號比,以實(shí)現(xiàn)微小壓力變化的精確檢測;而高線性度可提高檢測的可靠性、維持靈敏度不隨壓力增加而衰減以及降低信號處理的復(fù)雜程度。同步優(yōu)化壓力傳感器的靈敏度和線性度對于提高其實(shí)用價值具有十分重要的意義。目前,已有大量研究致力于提高壓阻式壓力傳感器的傳感性能,如引入表面微結(jié)構(gòu)、設(shè)計導(dǎo)電多孔彈性體等。然而,這些傳統(tǒng)的優(yōu)化方式主要依賴于調(diào)節(jié)導(dǎo)電組分間接觸電阻(即接觸面積)的變化,難以在高靈敏度和寬線性范圍之間達(dá)到平衡。因此,實(shí)現(xiàn)壓力傳感器高靈敏度和寬線性范圍的同步優(yōu)化仍然是一個很大的挑戰(zhàn)。



  為同步優(yōu)化壓阻式壓力傳感器的靈敏度和線性度,本文在前期研究(ACS Appl. Mater. Interfaces 2019, 11, 28060–28071)基礎(chǔ)上,首次提出了一種基于碳黑/聚二甲基硅氧烷(CPDMS)聚合物導(dǎo)電層與銀納米線(AgNW)薄膜雙層導(dǎo)電的協(xié)同作用,實(shí)現(xiàn)壓阻式壓力傳感器靈敏度與線性范圍同步優(yōu)化的方法。CPDMS/AgNW雙導(dǎo)電層通過先旋涂AgNW溶液再噴涂CPDMS膠體至彈性基體進(jìn)行固化而制備,可使AgNW薄膜被緊密夾在CPDMS導(dǎo)電聚合物和PDMS基體之間形成三明治結(jié)構(gòu)(圖1b)。一方面,CPDMS導(dǎo)電聚合物層與AgNW薄膜層的并聯(lián)作用使CPDMS/AgNW雙導(dǎo)電層具有可比肩AgNW薄膜的優(yōu)異導(dǎo)電性;另一方面,CPDMS導(dǎo)電聚合物與彈性基體的保護(hù)避免了AgNW導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)在變形中被破壞,使CPDMS/AgNW雙導(dǎo)電層在膠帶粘附、彎曲、拉伸測試中均表現(xiàn)出優(yōu)異的導(dǎo)電和機(jī)械穩(wěn)定性。


圖1. a)高性能電阻式壓力傳感器的鎖扣形組裝方式及工作示意圖。b)多孔結(jié)構(gòu)及雙導(dǎo)電材料層的SEM圖片。c)CPDMS/AgNW雙導(dǎo)電層的彎曲穩(wěn)定性對比。


  為了研究CPDMS/AgNW雙導(dǎo)電層的工作機(jī)理,他們首先選擇實(shí)心的PDMS微穹頂陣列(SDA)作為彈性基體,對比不同導(dǎo)電層對傳感性能的影響。研究發(fā)現(xiàn),單導(dǎo)電層的傳感器件僅在0-100 Pa的微小壓力范圍內(nèi)表現(xiàn)出較高的靈敏度,而CPDMS/AgNW 雙導(dǎo)電層的協(xié)同作用可使傳感器的線性范圍顯著提升至0-6 kPa,同時表現(xiàn)出高達(dá)3788.29 kPa-1的超高靈敏度(圖2)。這是因?yàn)閱螌?dǎo)電層傳感器在壓力作用下的電阻變化較為單一,主要受其接觸電阻(接觸面積)的影響。一方面,單導(dǎo)電層有限的電阻相對變化限制了傳感器的靈敏度;另一方面,SDA結(jié)構(gòu)在壓力作用下的接觸面積呈非線性變化,導(dǎo)致其線性范圍也非常有限。而對于CPDMS/AgNW 雙導(dǎo)電層傳感器,其在壓力作用下的電阻變化除了受接觸電阻的影響,還受到接觸位置CPDMS層穿透電阻的影響。未加載壓力時,SDA結(jié)構(gòu)較小的接觸面積和CPDMS層較差的導(dǎo)電性使CPDMS/AgNW 雙導(dǎo)電層傳感器具有較大的初始接觸電阻和穿透電阻,電子因此難以穿過接觸位置的CPDMS層到達(dá)AgNW薄膜。隨著壓力的增加,接觸面積增大,CPDMS層也被壓縮而厚度減小,接觸電阻和穿透電阻因此降低,使得越來越多的電子可以穿透CPDMS層到達(dá)AgNW薄膜,從而使電阻的變化范圍擴(kuò)大,提升了傳感器的靈敏度。此外,接觸位置CPDMS層穿透電阻的協(xié)同變化,也一定程度上平衡了接觸電阻的非線性變化,使CPDMS/AgNW雙導(dǎo)電層傳感器的線性范圍明顯提升。值得注意的是,CPDMS/AgNW雙導(dǎo)電層傳感器線性范圍的提升得益于接觸位置CPDMS層穿透電阻的協(xié)同變化,因此僅改變AgNW薄膜而不改變CPDMS層以及彈性體結(jié)構(gòu),可有效改變傳感器的靈敏度而不影響其線性范圍。


圖2. a-c) 不同導(dǎo)電層對器件傳感性能的影響。d-e)單導(dǎo)電層以及CPDMS/AgNW雙導(dǎo)電層的工作機(jī)制對比。


  為進(jìn)一步提高傳感器的線性范圍,同時維持其高靈敏度,他們選擇固定CPDMS/AgNW雙導(dǎo)電層,并引入具有更高可壓縮性的多孔結(jié)構(gòu)構(gòu)成多孔微穹頂陣列(PDA)。彈性基體變形能力的提升,使得接觸位置CPDMS層在同樣壓力下的壓縮程度變小(圖3)。換言之,需要更大的壓力才能使AgNW薄膜上層的CPDMS達(dá)到最大壓縮程度,進(jìn)而使其穿透電阻的協(xié)同作用得以延緩,線性范圍也因此得以進(jìn)一步提升。研究表明,CPDMS/AgNW雙導(dǎo)電層傳感器的線性范圍隨彈性基體可壓縮性的增加而提升。基于最大孔徑為200 m的鎖扣型PDA結(jié)構(gòu),CPDMS/AgNW雙導(dǎo)電層傳感器的線性范圍可提升至0-70 kPa,同時維持924.37 kPa-1的超高靈敏度。對于壓阻式壓力傳感器,這樣的優(yōu)化程度在過去的研究中鮮有報道。他們也系統(tǒng)證明了基于該方法優(yōu)化的壓力傳感器具有良好的可重復(fù)性、穩(wěn)定性、無信號遲滯、快速響應(yīng)等性能。


圖3. a)SDA和PDA的可壓縮性數(shù)值模擬對比。b-d)CPDMS/AgNW雙導(dǎo)電層以及PDA結(jié)構(gòu)協(xié)同優(yōu)化的機(jī)理(b)和傳感性能(c-d)。


  最后,他們將優(yōu)化后的傳感器件應(yīng)用于全方位的人體生理信號的檢測。得益于其高靈敏度和寬線性范圍的平衡,該傳感器在低壓范圍成功檢測出具有不同音節(jié)的詞句的聲音震動以及脈搏信號,表現(xiàn)出精準(zhǔn)識別語言和人體健康監(jiān)測的潛力;在中壓范圍成功識別出不同程度的肌肉擴(kuò)張、敲擊以及屈膝動作,表現(xiàn)出在肌肉以及關(guān)節(jié)健康狀態(tài)監(jiān)測方面的潛力;在高壓范圍實(shí)現(xiàn)了站立、行走以及跑動的動作記錄和分解,表現(xiàn)出在人體行為捕捉以及平衡能力評估方面的潛力。基于顯著提升的傳感器性能和全方位的應(yīng)用潛力,相信通過CPDMS/AgNW雙層導(dǎo)電和PDA結(jié)構(gòu)的協(xié)同作用同步優(yōu)化靈敏度和線性度的方法,對于壓阻式壓力傳感器的發(fā)展以及柔性可穿戴電子皮膚的應(yīng)用具有一定的指導(dǎo)意義。


圖4. 聲音震動(a)、脈搏(b)、肌肉擴(kuò)張(c)、敲擊(d)、屈膝(e)、站立(f)、行走(g)以及跑動狀態(tài)(h)的監(jiān)測。


  該工作受到了澳門科學(xué)技術(shù)發(fā)展基金(FDCT-0037/2018/A1)、澳門大學(xué)研究服務(wù)及知識轉(zhuǎn)移辦公室(MYRG2017-00089-FST,MYRG2018-00063-IAPME)的經(jīng)費(fèi)支持,同時也受到國家自然科學(xué)基金(Grant No. 11674210)的部分支持。相關(guān)成果發(fā)表于ACS Applied Materials & Interfaces,文章的第一作者為澳門大學(xué)應(yīng)用物理及材料工程研究院博士生冀冰,通訊作者為周冰樸助理教授


  原文鏈接:https://doi.org/10.1021/acsami.0c08910

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