崔錚研究員作報告
1月14日,應中科院長春應用化學研究所高分子物理與化學重點實驗室馬東閣研究員的邀請,中科院蘇州納米所崔錚研究員訪問了應化所,并作了題為“微納米加工技術的過去、現在與未來”的學術報告。
自1959年第一個平面晶體管集成電路問世以來,微納米加工技術已經經歷了50年發展歷史。在過去的50年中,微納米加工技術已經從單一的集成電路加工發展成為微系統與MEMS加工,以及納米加工等應用廣泛的一門技術,成為當今微納米技術發展的基礎。
崔錚在報告中回顧了微納米加工技術近20年的發展歷史,比較了一些常用微納米加工技術的特點,總結了目前微納米加工技術的加工能力和極限,并展望了未來微納米加工技術的發展趨勢。
崔錚1988年畢業于南京東南大學,獲博士學位。1989年應英國科學與工程研究委員會邀請并全額資助,到英國劍橋大學微電子研究中心做訪問研究員(Visiting Fellow)。1993年應聘英國盧瑟福國家實驗室微結構中心高級研究員。自1999年起任英國盧瑟福國家實驗室微結構中心微納米技術首席科學家(Principal Scientist,GroupLeader)。主要研究領域為微納米加工技術及其應用。2009年9月入選中組部“千人計劃“,加盟中科院蘇州納米所。目前擔任中科院蘇州納米所印刷電子技術研究中心(籌)主任,交叉學科研究部主任。
崔錚在英國工作20年中先后參加了數十項歐洲與英國研究項目,應邀擔任歐洲第六、第七框架研究計劃的評審專家,英國國家科研項目評審專家,并應邀為20多種學術雜志評審論文;目前為英國物理學會會員,英國工程技術學會(IET)資深會員(Fellow)。2002年受聘為中國科學院海外評審專家。2004年獲中國科學院海外杰出學者基金。2007年參加中科院物理所納米電子材料與器件海外合作團隊。先后獨立與合作發表學術論文190余篇。獨立撰寫并出版專著4部(中英文各兩部)。最新專著“微納米加工技術及其應用(第二版)”于2009年6月由高等教育出版社出版。
- 暫無相關新聞