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Al-Cu合金中θ相的價(jià)電子結(jié)構(gòu)分析  
Al-Cu合金中θ相的價(jià)電子結(jié)構(gòu)分析
資料類型: PDF文件
關(guān)鍵詞: Al-Cu合金  θ(Al2Cu)  電子結(jié)構(gòu)  熱穩(wěn)定性  電遷移  
資料大?。?/td> 258K
所屬學(xué)科: 結(jié)構(gòu)表征
來源: 來源網(wǎng)絡(luò)
簡介:
運(yùn)用經(jīng)驗(yàn)電子理論(EET)對Al-Cu合金薄膜析出相θ(Al2Cu)的價(jià)電子結(jié)構(gòu)進(jìn)行計(jì)算。結(jié)果表明θ相中的Cu-Cu鍵最強(qiáng),其次為Al-Cu鍵,它們的強(qiáng)度都比金屬Cu的最強(qiáng)Cu-Cu鍵要強(qiáng)。Al-Cu合金薄膜互連線的電遷移壽命與在基體晶粒中析出具有強(qiáng)的共價(jià)鍵絡(luò)的θ相緊密相關(guān)。θ相的析出提高了合金強(qiáng)度,延長了合金電遷移壽命。
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上傳時(shí)間: 2007-07-13 14:54:00
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