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PDF文件
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| 關(guān)鍵詞： |
金剛石膜 氮?dú)?/a> 生長速率 表面形貌 膜品質(zhì) EA-CVD方法 |
| 資料大小： |
126K |
| 所屬學(xué)科： |
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| 來源： |
來源網(wǎng)絡(luò) |
| 簡介： |
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采用電子輔助化學(xué)氣相沉積法(EA-CVD)制備摻氮金剛石薄膜，研究了不同氮?dú)饬髁繉饎偸さ纳L速率、表面形貌和膜品質(zhì)的影響。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，在較低的氮?dú)饬髁肯拢饎偸さ纳L速率增加，在較高的氮?dú)饬髁肯律L速率減小。利用SEM、Raman光譜、XPS等測試手段對樣品的表面形貌及品質(zhì)進(jìn)行了表征。結(jié)果表明，當(dāng)?shù)獨(dú)饬髁繛?sccm時金剛石膜的結(jié)晶比較完整；當(dāng)?shù)獨(dú)饬髁繛?sccm時生成與(100)面共存的“菜花狀”。氮?dú)饬髁康倪M(jìn)一步增加，“菜花”表面(100)晶面顯露的數(shù)量明顯降低，非金剛石碳含量和氮雜質(zhì)含量增加，金剛石膜的品質(zhì)明顯下降。 |
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| 上傳人： |
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| 上傳時間： |
2007-07-11 14:32:37 |
| 下載次數(shù)： |
7018 |
| 消耗積分： |
2
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