新技術加工碳納米管成任意形狀
2008-05-14 來源:中國聚合物網
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日本產業技術綜合研究所5月5日發表新聞公報說,該所科研小組采用新技術隨心所欲地控制單層碳納米管的形狀,并成功在基板上集成了1000多個復雜立體形狀的碳納米管元件。
碳納米管的直徑通常為幾納米到幾十納米,管壁厚度僅有幾納米。碳納米管的韌性高,導電性強,兼具金屬和半導體的特性,是超微元件的理想材料。但是,生成任意形狀的碳納米管并對其進行加工一直是個難題。
在這家研究所的實驗中,研究人員先是借助“super-growth化學氣相生成法”等技術制作出碳納米管晶片,然后在碳納米管晶片表面涂上抗蝕劑,然后經過曝光、顯像等多道工序,最終可將碳納米管加工成任意形狀。
研究論文已于5月4日發表在《自然—納米技術》雜志網絡版上。
(《自然—納米技術》(Nature Nanotechnology),doi:10.1038/nnano.2008.98,Yuhei Hayamizu, Kenji Hata)
碳納米管的直徑通常為幾納米到幾十納米,管壁厚度僅有幾納米。碳納米管的韌性高,導電性強,兼具金屬和半導體的特性,是超微元件的理想材料。但是,生成任意形狀的碳納米管并對其進行加工一直是個難題。
在這家研究所的實驗中,研究人員先是借助“super-growth化學氣相生成法”等技術制作出碳納米管晶片,然后在碳納米管晶片表面涂上抗蝕劑,然后經過曝光、顯像等多道工序,最終可將碳納米管加工成任意形狀。
研究論文已于5月4日發表在《自然—納米技術》雜志網絡版上。
(《自然—納米技術》(Nature Nanotechnology),doi:10.1038/nnano.2008.98,Yuhei Hayamizu, Kenji Hata)
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(責任編輯:蔚藍)
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