美刊公布納米微型產品制作工藝流程
2008-08-06 來源：中國聚合物網
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9、無塵室外的曝光機系統
這是無塵室外的曝光機系統，現在僅僅作為實驗室備用設備。
10、梅森教授準備進入曝光機無塵室
梅森教授和工作人員趙坤戴上手套，正準備進入曝光機無塵室；覊m等顆粒一旦進入無塵室，可能會破壞硅片上曝光的納米字母或微型產品的形狀。
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（責任編輯：龍翔）
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