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有機太陽能電池ITO 電極的光刻制備法及其研究

資料類型：

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關鍵詞：

ito 電極光刻方塊電阻

資料大小：

280K

所屬學科：

分子表征

來源：

2007年第六屆中國功能材料及其應用學術會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢)

簡介：

目前有機太陽能電池是光電行業研究的熱點之一。通常該器件以ITO為陽極，通過真空蒸鍍的方法制作。在對器件進行測試時，ITO電極的設計制作，有利于器件的保護。用光刻技術進行ITO電極的制作，可以得到非常精細的結果。重點闡述了利用光刻方法制作優良ITO電極的注意點，包括表面清洗、曝光控制、顯影控制和腐蝕工藝，其中由于不同ITO玻璃的導電層厚度、各成分含量不同，所以腐蝕工藝的研究是重點中的重點。提供了對生成光刻ITO電極的質量進行準確評價的一種簡便方法。

作者：

席曦，王振交，楊輝，喬琦，季靜佳，陸紅艷，李果華

上傳時間：

2008-08-06 13:02:24

下載次數：

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相關評論 共有11人發表評論

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goodlifan 2011-09-20 15:03:13

henhao

jcy20061986 2011-03-02 21:45:13

挺好的。參考一下

sw3552003 2009-12-02 13:09:05

yueduzhong

sw3552003 2009-12-02 12:46:30

正在閱讀中。

zjlbuaa 2009-06-26 8:43:25

很不錯的資料，很有參考價值

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