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Micro-Raman光譜鑒定碳化硅單晶的多型結(jié)構(gòu)

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顯微激光Raman光譜 X射線搖擺曲線 SiC單晶多型鑒定

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簡介：

利用激光拉曼光譜儀測量了SiC單晶中不同多型的顯微Raman光譜。在Raman光譜中，最大強(qiáng)度的FTA模和FTO模應(yīng)出現(xiàn)在其簡約波矢x等于該多型的六角度h處，據(jù)此對(duì)4H-SiC單晶中的多型進(jìn)行了鑒定。同時(shí)采用高分辨X射線衍射測量了該晶片不同區(qū)域的搖擺曲線，將不同多型體的計(jì)算衍射角與實(shí)驗(yàn)值加以比較，對(duì)SiC晶片中的多型進(jìn)行了標(biāo)注，所得結(jié)論與激光Raman光譜測定結(jié)果相一致，說明Raman光譜是一種簡單、快速地鑒定多型結(jié)構(gòu)的強(qiáng)有力的工具。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，在升華法生長4H-SiC單晶過程中，容易出現(xiàn)寄生6H、15R多型同4H多型的競爭生長，簡單分析了寄生多型產(chǎn)生的原因。

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2007-07-06 11:59:29

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更多評(píng)論

jiangjingjing 2010-03-17 16:36:59

不知道粉體能不能測

mengming 2009-03-18 20:38:48

正要好好歇息拉曼呢

xingshi 2009-01-06 13:45:54

使用x－ray應(yīng)該也可以測出來的吧

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