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離子束濺射BST薄膜的制備及結構分析 |
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| 資料類型： |
PDF文件
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| 關鍵詞： |
鈦酸鍶鋇 薄膜 離子束濺射 晶體結構 |
| 資料大小： |
149K |
| 所屬學科： |
結構表征 |
| 來源： |
來源網絡 |
| 簡介： |
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本文采用離子束濺射的方法制備了不同襯底溫度下的BST薄膜，用X射線、Raman、SPM等技術對晶體結構及微觀形貌進行表征，研究了離子束濺射制備BST的工藝。 |
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| 上傳人： |
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| 上傳時間： |
2007-07-12 16:20:27 |
| 下載次數： |
592 |
| 消耗積分： |
2
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