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等離子振動反應(yīng)室的研究  
等離子振動反應(yīng)室的研究
資料類型: PDF文件
關(guān)鍵詞: 硅粉提純  振動陰極  射頻感應(yīng)  
資料大?。?/td> 275K
所屬學科: 分子表征
來源: 2007年第六屆中國功能材料及其應(yīng)用學術(shù)會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19,武漢)
簡介:
通過對振動陰極反應(yīng)室的研究,針對粉粒與金屬陰極接觸的問題,提出新的改進設(shè)計。采用射頻電源感應(yīng)線圈,振動石英管內(nèi)部放電的方式進行刻蝕。既有振動陰極反應(yīng)室的效果,又避免摻入雜質(zhì),是一種可行的新反應(yīng)室設(shè)計。
作者: 趙亮,尹盛,王敬義,趙伯芳
上傳時間: 2008-05-19 15:41:04
下載次數(shù): 59
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