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氮化硼薄膜在退火相變中的應力研究  
氮化硼薄膜在退火相變中的應力研究
資料類型： PDF文件
關鍵詞： 氮化硼薄膜  退火  傅立葉變換紅外光譜  應力  
資料大小： 270K
所屬學科： 分子表征
來源： 2007年第六屆中國功能材料及其應用學術會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢)
簡介：
利用射頻濺射系統在p型Si(100)襯底上制備氮化硼薄膜。對其進行600～1000℃的常壓下N2保護退火。通過傅立葉變換紅外譜(FTIR)分析，發現hBN-cBN-hBN的可逆相變。通過不同溫度退火后立方相橫光學振動模式峰位的移動，計算了氮化硼薄膜中殘余應力的變化。發現沉積后退火很好地解決了高立方相氮化硼薄膜應力釋放的問題，可提高立方氮化硼薄膜在硅襯底上的粘附性。并且探索性地討論在退火過程中c-BN成核、生長與薄膜中應力變化的關系。
作者： 張曉康，鄧金祥，王瑤，陳光華，郝偉，侯碧輝, 賀德衍
上傳時間： 2008-05-20 15:03:04
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