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二氧化釩薄膜微結(jié)構(gòu)和光學(xué)相變特性

資料類型：

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關(guān)鍵詞：

薄膜 V O2 脈沖濺射微結(jié)構(gòu) 光學(xué)特性

資料大小：

321K

所屬學(xué)科：

分子表征

來源：

2007年第六屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議暨2007國際功能材料專題論壇論文集(11.15-11.19，武漢)

簡介：

二氧化釩薄膜是最有前途應(yīng)用到非制冷紅外微測熱輻射計(jì)的材料。它的特性與制備方法、化學(xué)計(jì)量比、結(jié)構(gòu)和取向等有直接關(guān)系，仔細(xì)控制工藝參數(shù)是制備應(yīng)用的VO2薄膜關(guān)鍵。研究中采用脈沖磁控反應(yīng)濺射方法，通過精確地控制功率、氧分壓、基底溫度等關(guān)鍵工藝參數(shù)，在石英玻璃和硅片上制備VO2薄膜。利用X射線衍射和X射線光電子譜，分析了薄膜的成分、相結(jié)構(gòu)、結(jié)晶和價(jià)態(tài)情況，用原子力顯微鏡表征了薄膜的微觀結(jié)構(gòu)，在光譜儀對VO2薄膜的高低溫光學(xué)特性原位測量。結(jié)果表明，得到的VO2薄膜純度高、相結(jié)構(gòu)單一、結(jié)晶度、多晶生長。在波數(shù)2000cm-1高低溫透射變化達(dá)到51%。

作者：

許旻，邱家穩(wěn)，崔敬忠，王潔冰，何延春

上傳時(shí)間：

2008-09-10 13:37:09

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