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納米集成電路用大直徑硅及硅基材料研究進展  
納米集成電路用大直徑硅及硅基材料研究進展
資料類型： PDF文件
關鍵詞： 納米集成電路  大直徑硅單晶  硅基材料  
資料大小： 138K
所屬學科： 分子表征
來源： 2004年第五屆中國功能材料及其應用學術會議（9.12-9.16，北京.秦皇島）
簡介：
本文敘述了大直徑硅單晶生長、雜質缺陷行為、表面質量控制及硅基材料的研究現狀，討論了應變硅與絕緣體上硅(SOI)相結合的發展趨勢，展望了納米集成電路用大直徑硅及硅基材料的技術經濟前景。
作者： 屠海令
上傳時間： 2007-07-18 14:21:01
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