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氮氣流量對電弧離子鍍TiN薄膜性能的影響  
氮氣流量對電弧離子鍍TiN薄膜性能的影響
資料類型: PDF文件
關鍵詞: 離子鍍  氮化鈦  氮氣流量  薄膜  
資料大小: 308K
所屬學科: 分子表征
來源: 2004年第五屆中國功能材料及其應用學術會議(9.12-9.16,北京.秦皇島)
簡介:
氮化鈦是一種應用較廣泛的硬質薄膜,其性能受許多因素的影響,本文只改變氮氣流量,固定其它工藝參數,對鍍覆的氮化鈦薄膜性能進行了分析和研究,得出了獲得較好氮化鈦薄膜綜合性能的氮氣流量
作者: 李春明 史新偉 邱萬奇 劉正義
上傳時間: 2007-07-06 16:38:23
下載次數: 630
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