又色又爽又黄高潮的免费视频,天天躁日日躁狠狠躁av,久久久久国产精品免费免费搜索

^{<blockquote id="3zfuu"></blockquote>}

應(yīng)用于微電子機(jī)械系統(tǒng)中多孔硅的研究

資料類(lèi)型：

PDF文件

關(guān)鍵詞：

多孔硅微電子機(jī)械系統(tǒng) 腐蝕速率孔隙率殘余應(yīng)力

資料大小：

172K

所屬學(xué)科：

分子表征

來(lái)源：

2004年第五屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議（9.12-9.16，北京.秦皇島）

簡(jiǎn)介：

針對(duì)多孔硅在MEMS中作為犧牲層和絕熱層的應(yīng)用，主要研究了電化學(xué)腐蝕法制備多孔硅的實(shí)驗(yàn)條件與多孔硅深度及其孔隙率間的關(guān)系，實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)電化學(xué)腐蝕法制備多孔硅的腐蝕速率在腐蝕前期階段基本是一定值(電流密度為80mA/cm2時(shí)為1.3&micro；m/min,電流密度為40mA/cm2時(shí)為0.4&micro；m/min)，但到腐蝕后期階段隨著孔深的增加有所下降。同時(shí)發(fā)現(xiàn)對(duì)于不同的腐蝕電流密度，多孔硅的孔隙率都有隨腐蝕時(shí)間的延長(zhǎng)先增加后降低的趨勢(shì)，用Beale模型可以很好的解釋這一現(xiàn)象。最后，針對(duì)多孔硅在制備后易發(fā)生龜裂的現(xiàn)象，用拉曼光譜分析了多孔硅的內(nèi)部應(yīng)力情況，結(jié)果表明隨多孔硅孔隙率的上升其內(nèi)部殘余應(yīng)力有增加的趨勢(shì)。

作者：

崔夢(mèng) 胡明雷振坤竇雁威田斌

上傳時(shí)間：

2007-07-12 12:18:01

下載次數(shù)：

616

消耗積分：

立即下載：

好

1人

中

1人

差

1人

友情提示：下載后對(duì)該資源進(jìn)行評(píng)論，即可獎(jiǎng)勵(lì)2分。

報(bào)告錯(cuò)誤：

1.下載無(wú)效　 2. 資料明顯無(wú)價(jià)值　 3. 資料重復(fù)存在

相關(guān)評(píng)論 共有0人發(fā)表評(píng)論

更多評(píng)論

你還沒(méi)有登錄，無(wú)法發(fā)表評(píng)論，請(qǐng)首先

免責(zé)聲明：本站部分資源由網(wǎng)友推薦，來(lái)自互聯(lián)網(wǎng)，版權(quán)屬于原版權(quán)人，如果不慎侵犯到您的權(quán)利，敬請(qǐng)告知，我們會(huì)在第一時(shí)間撤除。本站中各網(wǎng)友的評(píng)論只代表其個(gè)人觀點(diǎn)，不代表本站同意其觀點(diǎn)。

最新上傳資料
·	關(guān)于發(fā)展我國(guó)材料科學(xué)技術(shù)的若干...
·	形狀記憶材料的新進(jìn)展
·	功能晶體材料的發(fā)展
·	功能陶瓷材料研究的若干進(jìn)展
·	紫外、深紫外非線性光學(xué)晶體的最...
·	土木工程結(jié)構(gòu)智能感知材料、傳感...
·	新材料與功能材料的戰(zhàn)略地位、研...
·	一維納米材料中的新效應(yīng)和新功能
·	自旋電子學(xué)功能材料
·	磁性納米顆粒膜微波物性研究
·	納米集成電路用大直徑硅及硅基材...
·	壓力及制備條件對(duì)大塊非晶合金結(jié)...
·	透明導(dǎo)電薄膜材料的研究與發(fā)展趨...
更多>>

熱點(diǎn)資料
·	轉(zhuǎn)爐煙塵制備氮化鐵磁性材料及其...
·	離子束濺射生長(zhǎng)非晶Si薄膜的研究
·	稀磁半導(dǎo)體研究的最新進(jìn)展
·	低電壓并五苯晶體管的制備
·	PECVD法制備微晶硅薄膜的研究
·	反應(yīng)溫度對(duì)苯熱合成氮化硼納米晶...
·	聚砜類(lèi)分離膜的研究進(jìn)展
·	II-VI族化合物半導(dǎo)體中的晶體缺...
·	透明導(dǎo)電薄膜材料的研究與發(fā)展趨...
·	氮?dú)饬髁繉?duì)電弧離子鍍TiN薄膜性...
·	電磁屏蔽導(dǎo)電涂料發(fā)展現(xiàn)狀
·	納米TiO2光催化劑可見(jiàn)光活性研...
·	鐵酸鋅-二氧化鈦納米復(fù)合膜的光...
更多>>

相關(guān)資料
·	基于環(huán)糊精的選擇性檢測(cè)多巴胺的...
·	應(yīng)用黏彈性分析于預(yù)測(cè)射出產(chǎn)品之...
·	擠出口模結(jié)構(gòu)對(duì)木塑微孔片材性能...
·	復(fù)合材料中增強(qiáng)粒子與基體的微觀...
·	低成本材料MEMS梁結(jié)構(gòu)仿真開(kāi)發(fā)...
·	后處理工藝對(duì)BST 薄膜殘余應(yīng)力...
·	多孔硅襯底在RFIC 無(wú)源器件中的...
更多>>

私密直播全婐app免费大渔直播,国产av成人无码免费视频,男女同房做爰全过程高潮,国产精品自产拍在线观看