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SOI在高壓器件中的應用  
SOI在高壓器件中的應用
資料類型： PDF文件
關鍵詞： SOI  高壓器  擊穿電壓  
資料大?。?/td> 108K
所屬學科： 分子表征
來源： 2004年第五屆中國功能材料及其應用學術會議（9.12-9.16，北京.秦皇島）
簡介：
綜述了絕緣層上的硅（SOI）材料在高壓器件中的應用，分析了SOI高壓器件的不同結構，并對現在最常用的RESURFLDMOS高壓器件結構，以及不同器件參數對擊穿電壓的影響進行了分析和討論。
作者： 王石冶 劉衛麗 張苗 林成魯 宋志棠
上傳時間： 2007-07-13 16:00:25
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